Jobin Yvon Auto SE 一鍵式薄膜測量工具
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Auto SE 一鍵式薄膜測量工具
● 薄膜分析變得輕松簡單
● 高性能系統(tǒng)
● 獨一無二的光斑可視系統(tǒng)(專利技術)
● 多種附件選擇
● 智能診斷
Auto SE—讓您的例行測量工作不再枯燥!
● Auto SE是一種新型的按鍵式全自動薄膜測量分析工具，
僅需簡單的幾個按鍵操作，即可完成全自動測量和分析。
● 僅幾秒鐘即可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊
特性報告-包括薄膜厚度、光學常數(shù)、表面粗糙度和薄
膜的不均勻性。
● Auto SE 是一種高性能系統(tǒng)，它包括XYZ自動樣品臺、測
量點實時成像和光斑尺寸自動選擇功能，其各種各樣的附
件可滿足用戶對多種應用的需求。
● Auto SE借助完整的操作向?qū)?，自動檢測并診斷問題、同
時提供完整的操作指南，實現(xiàn)對故障進行輕松處理。
● 便捷的操作性能和大量自動化特性，使得 Auto SE 成
為一種可用于常規(guī)薄膜測量和質(zhì)量控制的理想設備。
Auto SE—附件
Auto SE 是一種多功能儀器。它能夠提供多種附件來滿足不同的實驗領域和樣品形狀的測量要求。
● 用于簡單的樣品操作：塑料薄膜架、彎曲樣品架、自動換樣器。
● 用于不同的實驗數(shù)據(jù)類型：透射率、360度旋轉控制。
● 用于不同的樣品測試條件：液體池、電化學池、控溫池。
Auto SE—技術參數(shù)
標準配置
| 光源 |
鹵素燈和藍色LED |
| 光譜范圍 |
440-850 nm |
| 光斑尺寸 |
>500μm; 500μm x 500μm; 250μm x 500μm
250μm x 250μm; 70μm x 250μm
100μm x 100μm; 50μm x 60μm; 25μm x 60μm |
| 探測器 |
CCD-分辨率: 2 nm |
| 樣品臺尺寸 |
200mm x 200mm; XYZ方向自動調(diào)節(jié)
真空檢測; Z軸高度50mm |
| 觀測樣品 |
CCD-視場范圍1.33*1 mm 分辨率10μm |
| 量角器 |
固定在70度-可預設為66度或61.5度 |
可選附件
| 附件 |
樣品池：溫度池、電化學反應池、液體池
樣品臺：自動換樣器、360度旋轉控制、
傳動架、塑料薄膜支架、透鏡和彎曲樣品支架 |
| 微光斑 |
光斑尺寸<100x100μm時需要氙燈 |
| 桌子 |
尺寸 (寬 x 深 x 高) ：1400-1840 x530x740 mm |
性能指標
| 測試時間 |
<1 秒，通常為5秒 |
| 精確度 |
NIST 1000 Å SiO /Si: d±4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002
Fused silica: n ±0.004 |
| 重復性 |
尺寸 (寬 x 深 x 高) ：1400-1840 x530x740 |
設備要求
| 操作系統(tǒng) |
Windows 2000/XP/Vista |
| 電源 |
100V / 115V / 230V ; 200 W ; 50 / 60 Hz |
| 標準 |
CE |
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